真空鍍膜設(shè)備的選購(gòu)要點(diǎn)及光密度在線測(cè)試儀怎么選擇?
鍍光學(xué)薄膜的真空鍍膜機(jī)可以安裝光密度在線測(cè)試儀，用來(lái)連續(xù)監(jiān)控鍍膜在線生產(chǎn)的產(chǎn)品質(zhì)量.提高真空鍍膜設(shè)備生產(chǎn)線上的工作效率。
真空鍍膜設(shè)備主要由真空腔、抽氣系統(tǒng)、蒸發(fā)系統(tǒng)、成膜控制系統(tǒng)等組件構(gòu)成的。另外，鍍光學(xué)薄膜的真空鍍膜機(jī)還可以配置安裝光密度在線檢測(cè)系統(tǒng)，林上生產(chǎn)的光密度在線測(cè)試儀LS152，是專(zhuān)業(yè)用于真空鍍鋁膜、真空磁控濺射鍍太陽(yáng)膜等光學(xué)薄膜生產(chǎn)線上的在線檢測(cè)設(shè)備。
真空鍍膜設(shè)備被廣泛應(yīng)用于建材、五金、鐘表、光學(xué)、電子、玩具、汽車(chē)等行業(yè)上。尤其鍍制光學(xué)薄膜，被廣泛應(yīng)用到各光電系統(tǒng)及光學(xué)儀器中，如數(shù)碼相機(jī)、數(shù)碼攝像機(jī)、能量控制、光通訊、望遠(yuǎn)鏡、投影機(jī)、顯示技術(shù)、微機(jī)電系統(tǒng)、信息工業(yè)、激光的制作、照明工業(yè)、傳感器、建筑玻璃、汽車(chē)工業(yè)等等。
真空鍍膜設(shè)備的選購(gòu)要點(diǎn)分析如下：
爐體可選擇由不銹鋼、碳鋼或組合制成的雙層水冷結(jié)構(gòu)。
根據(jù)工藝要求選擇不同規(guī)格及類(lèi)型的鍍膜設(shè)備，其類(lèi)型有電阻蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)、磁控濺射、磁控反應(yīng)濺射、離子鍍、多弧離子鍍等。
真空系統(tǒng)由機(jī)械泵、擴(kuò)散泵、羅茨泵、油增壓泵、增擴(kuò)泵、堝輪分子泵等以及與它們相匹配的各種氣動(dòng)、手動(dòng)、電動(dòng)閥門(mén)、管道等組成。
夾具運(yùn)轉(zhuǎn)形式有自轉(zhuǎn)、公轉(zhuǎn)以及公轉(zhuǎn)+自轉(zhuǎn)方式，用戶(hù)根據(jù)基片的尺寸和形狀提出相應(yīng)的要求，轉(zhuǎn)動(dòng)的速度范圍及轉(zhuǎn)動(dòng)精度：普通可調(diào)及變頻調(diào)速等。
根據(jù)工藝要求選擇鍍制方式及形式，如電阻蒸發(fā)（鎢絲、鉬舟、石墨舟）磁控源（同軸圓柱型磁控源、園柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等）以靶材材質(zhì)及尺寸多弧源（Ф60，Ф80直徑靶材，氣動(dòng)、電動(dòng)的引弧等），真空測(cè)量可選擇數(shù)字式智能真空計(jì)及其優(yōu)質(zhì)的測(cè)量規(guī)管，及其它測(cè)量?jī)x器，如自動(dòng)壓強(qiáng)控制儀等。膜厚測(cè)量可選用方塊電阻測(cè)量?jī)x，透過(guò)率計(jì)等。
充氣方式可選用質(zhì)量流量計(jì)、浮子流量計(jì)+針閥及相應(yīng)的充氣閥門(mén)，并可選擇多路充氣管路及相應(yīng)流量參數(shù)。
完善的報(bào)警系統(tǒng)，對(duì)真空室體、擴(kuò)散泵斷相、缺水、氣壓、電源負(fù)載的過(guò)壓、過(guò)流等異常情況進(jìn)行聲光報(bào)警。
根據(jù)需烘烤的結(jié)構(gòu)提出烘烤溫度、材質(zhì)以及所需配備相應(yīng)儀表測(cè)量。
根據(jù)設(shè)備使用特點(diǎn)，可選擇手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)或其組合的控制方式。
由于鍍制光學(xué)薄膜最為廣泛，所以真空鍍膜設(shè)備適合選擇LS152真空鍍膜在線測(cè)厚儀，用來(lái)連續(xù)監(jiān)控鍍膜在線生產(chǎn)的產(chǎn)品質(zhì)量。生產(chǎn)產(chǎn)品出來(lái)后通過(guò)光源探測(cè)光譜中薄膜的可見(jiàn)光透光率來(lái)判斷鍍膜厚度的均勻性。從而提高真空鍍膜設(shè)備生產(chǎn)線上的工作效率。